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伯东 氦质谱检漏仪 ASM390 用于MOCVD 设备检漏

  • 发布日期:2021-04-07 15:56:07
  • 有效期至:长期有效
  • 招商区域:全国
  • 浏览次数4
 
详细说明
 电子材料公司采用伯东移动式氦质谱检漏仪 ASM390 对生产系统 MOCVD 进行检漏,主要针对气体的输运系统管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查保证反应系统无泄漏.

 

 

MOCVD 设备需要检漏:

因为MOCVD生长使用的源是易燃易爆毒性很大的物质并且要生长多组分大面积薄层和超薄层异质材料因此在MOCVD系统的设计思想上必须考虑系统密封性对于气体的输运系统管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一.

 

 

 
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