PECVD 检漏原因:
PECVD 工作环境需要两个必要条件: 低温和真空, 由于 PECVD 结构复杂, 组成部分较多, 各组件通过各种法兰接口连接, 当长时间运行时可能造成接口或管路松动, 设备漏气, 导致真空度抽不下来, 影响沉积薄膜的质量, 这时就需要通过检漏来排查漏点. 常规的检漏如涂肥皂水等方法, 耗时耗力且精度低, 容易受操作人员干扰, 所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.
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伯东 氦质谱检漏仪 ASM340 用于 PECVD 检漏
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PECVD 检漏原因:
PECVD 工作环境需要两个必要条件: 低温和真空, 由于 PECVD 结构复杂, 组成部分较多, 各组件通过各种法兰接口连接, 当长时间运行时可能造成接口或管路松动, 设备漏气, 导致真空度抽不下来, 影响沉积薄膜的质量, 这时就需要通过检漏来排查漏点. 常规的检漏如涂肥皂水等方法, 耗时耗力且精度低, 容易受操作人员干扰, 所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.
