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伯东 氦质谱检漏仪 ASM340 用于 PECVD 检漏

  • 发布日期:2021-04-07 15:44:40
  • 有效期至:长期有效
  • 招商区域:全国
  • 浏览次数4
 
详细说明

  


 

 

PECVD 检漏原因:

PECVD 工作环境需要两个必要条件低温和真空由于 PECVD 结构复杂组成部分较多各组件通过各种法兰接口连接当长时间运行时可能造成接口或管路松动设备漏气导致真空度抽不下来影响沉积薄膜的质量这时就需要通过检漏来排查漏点常规的检漏如涂肥皂水等方法耗时耗力且精度低容易受操作人员干扰所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.

 

 

 
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