伯东 氦质谱检漏仪 ASM310 用于镀膜机检漏

某专门生产光学镀膜机企业,采用伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM310 镀膜机检漏, 主要对真空室和连接管路进行检漏, 以提高光学镜片的合格率.

镀膜机需要检漏原因:

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些接口或部件之前的焊缝中发生, 当抽气系统抽气后使真空室内压强降低, 外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内, 形成真空度降低. 真空度的降低则会降低光学镜片的合格率. 因此日常检漏是必不可少的.

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